固有频率（Natural Frequency）：

光学隔振台振动的周期或频率与初始( 或外界) 条件无关，而只与系统的固有特性有关，称为光学隔振台的固有频率或者固有周期。
通常来说，固有频率越低，系统的隔振性能就越强。

外界振动同物体的固有频率相同时，通常会引起共振，往往不是好事，甚至会产生严重后果，比如：正常人体的固有频率为7.5Hz 左右，其中各部分又有自己的固有频率，如内脏为4 ～ 6Hz，头部为8 ～ 12Hz 等，正是由于这个原因，次声波（10-5 ～ 20Hz）对人体有很大的破坏。

固有频率还分为水平方向和竖直方向，但通常来说竖直方向的固有频率对整体隔振性能的影响，起到决定性作用，水平方向的固有频率指标通常用于参考。

光学仪器架部分类别的特点

角度计微调架

此光学调整架用在对一个轴的倾斜。
使用V形槽和蜗轮结构。
选用时注意旋转中心的高度。

斜面微调架

此光学调整架可用在样品需要被倾斜但又毋须考虑倾斜中心的情况。
有千分尺和细螺杆两种调节方式。
用单轴和双轴可供选择。

不锈钢微调架

拥有高刚性。
拥有小的线性热膨胀系数，因而温度所引起的尺寸变化很小。
不易生锈。

高分辨率微调架

可以提供两种千分尺，一个用在粗调，一个用在细调。

使用独有的控制杠杆，粗调时以1：1比例移动，气浮隔振平台定制，细调时以1／10的比例移动。

SS微调架

此光学调整架使用的材料为不锈钢，拥有高刚性，高承重

随着先进的设备和工艺的发展，使纳米量级的测量成为可能。
例如，变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度，目前可以达到1纳米的分辨率。
在半导体领域，已生产出线宽在亚微米量级的集成电路，提出测量准确率小于50纳米的精度要求。
这样的应用对系统中不同元件相关配合精度和稳定性提出了极高的要求。
例如，用显微镜对图像进行高度放大的成像系统，显微镜和照像物镜共同决定了相纸上每点的图像。
如果，在曝光过程中光学系统的每一部分(照明系统、样品、显微镜光学系统、成像光学系统和相纸平面)都准确地一同移动，不存在相对位移，成像也会很清晰。
如果样品相对物镜产生了运动，则像就会模糊。
在光学干涉测量、全息及运用相似的规律时，控制相对运动都是很重要的。

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