光电仪器中的保护玻璃和分划板、制造集成电路的基片、平面显示器玻璃,都是属于一般精度要求的平板类平面光学零件,由于这类零件的需求量日益增大,使这类零件的双面加工技术逐渐发展成熟。
双面加工技术指同时对平板类光学零件的两个平面同步进行加工的技术。
显然,这种两面同步加工的技术,比每个面分别单次加工的效率要高得多,但相应的设备要求和控制要求也要高得多。
早期的双面加工,是在一般的二轴机上,采用上下平模,使用挡圈和分离片对平板的两个面同时进行加工,其装置如图12-1所示,主要进行精磨和抛光的双面加工。
加工时,下模1随机床主轴转动,上模5在摆架带动下摆动,光学平板厂家价格,同时随下模的转动而转动,其转动没有动力,被加工平板2放在分离片3内,摆动的上模将带动挡圈,从而带动被加工平板在下模平面上平动,同时平板亦可以在分离片圈内随上下模的转动而转动。
光学平板在高精度的科学实验中,也是为严谨的科学实验做出了极大地贡献。
下面我们就来了解一下光学平板到底是什么。
光学平板指的是光学平板的两面都被精密抛光,它通常作为分光镜或窗口等透过型元件,或被用作全反射镜或光学测量中的基准平面现象。
一般分为三种材料类型的光学平板:BK7,SFS 和准分子激光用 SFS。
其中大部分产品有各种指标的组合:形状(圆形或方形),面精度(λ,λ/4,λ/10,λ/20),多种厚度和平行度。
BK7基板常用于可见光和近红外区。
从紫外到近红外,SFS的温度稳定性,耐热性都很好。
准分子激光用SFS,用于高功率的准分子激光 KrF(248nm)时,具有低萤光特性。
去除抛光面的次表面缺陷(微小裂纹),对于改善膜的质量,提高耐高功率激光的稳定性很重要。
尽可能地控制磨料,温度和研磨过程,减少次表面缺陷。
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